O forno a vácuo é geralmente composto pelo motor principal, a câmara do forno, o dispositivo de aquecimento elétrico, o invólucro do forno selado, o sistema de vácuo, o sistema de alimentação elétrica, o sistema de controle de temperatura e o veículo de transporte externo. O invólucro do forno selado é soldado de aço carbono ou aço inoxidável, e as superfícies de junção das partes destacáveis são seladas com um material de vedação a vácuo. Para evitar que o invólucro do forno se deforme após o aquecimento e o material de vedação se deteriore quando aquecido, o invólucro do forno é geralmente resfriado com água ou resfriamento a ar. A câmara do forno está localizada dentro de um invólucro do forno selado. Dependendo da finalidade do forno, a câmara do forno é equipada com diferentes tipos de elementos de aquecimento, como resistores, bobinas de indução, eletrodos e pistolas de elétrons. Os fornos a vácuo para fundição de metal são equipados com cadinhos, e alguns são equipados com dispositivos de vazamento automático e manipuladores para carga e descarga. O sistema de vácuo é composto principalmente de uma bomba de vácuo, uma válvula de vácuo e um medidor de vácuo.